Bird-射頻專家超穩定的油介電RF終端負載
發布時間:2021-05-28 17:16:23 瀏覽:1807
Bird-射頻專家超穩定油介質射頻終端負載是為了實現最大的工藝重復性和一致性。現代等離子體應用需要精確的射頻功率調節和控制。射頻發生器的校準、調整和監測是確保向腔室提供準確和可重復的射頻功率的關鍵因素。Bird-射頻專家現在提供超穩定,低電壓駐波比負載,可以快速準確地測量發電機功率輸出時,與精密功率傳感器,如Bird 4020系列使用。Bird? 型號8865sc138890-300sc138921sc13和8931 SC不僅提供低電壓駐波比,而且在過程臨界頻率下電壓駐波比的總變化小于0.1 dB。由于校準是針對不同的時間長度進行的,因此沒有負載預熱或重復性的風險。這使得與校準相關的誤差最小化,并控制一個更關鍵的過程變量。

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